Skalierungsgrenzen einer kompakten EUV-Nanostrukturierungsanlage hinsichtlich Auflösung und Durchsatz - Erkenntnistransfer-Projekt

• Antragsteller: Professor Dr. Carlo Holly, seit 7/2021
• Fachliche Zuordnung: Experimentelle Physik der kondensierten Materie ; Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung von 2018 bis 2023
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 401122091

Im Rahmen des geplanten Vorhabens soll auf die erzielten Ergebnisse im DFG-Projekt "Realisierung dreidimensionaler künstlicher Germanium Quantenpunkt-Kristalle durch Interferenz-Lithographie mit extrem Ultravioletter Strahlung und Molekularstrahlepitaxie" aufgebaut werden. Hierbei steht das darin entwickelte Funktionsmuster der laborbasierten EUV-Strukturierungsanlage (EUV-LET) im Vordergrund. Derzeitig ist es mit dieser Anlage möglich, periodische Strukturanordnungen mit einer minimalen Halbperiode von 28 nm über große Flächen von mehreren Quadratmillimetern herzustellen. Dies ist derzeitig weltweit die kleinste Strukturgröße, die mit laborbasierten Interferenzverfahren hergestellt wurde. Diese herausragenden wissenschaftlichen Ergebnisse haben zu einem industriellen Interesse an diesem Verfahren beigetragen. Der Wissenstransfer in Kombination mit den hier geplanten Arbeiten soll es ermöglichen, zusammen mit einem Anwendungspartner aus der Industrie das Verfahren und die Systemtechnik weiterzuentwickeln und so minimale Strukturgrößen von 10 nm experimentell zu realisieren, die laut Anfragen aus der Industrie gefordert werden. Zur Zielerreichung sind insbesondere Arbeiten zur Weiterentwicklung der Transmissionsmasken, zur Stabilität und Regelung des Positioniersystems und zur Auslegung einer hocheffizienten Beleuchtungsoptik notwendig.Das gemeinsame Arbeitsprogramm wird es erlauben, die wissenschaftlichen und technischen Grenzen des Verfahrens zu ermitteln und die Anwendungsbereiche aufzuzeigen. Basierend auf den Projektergebnissen wird der industrielle Industriepartner befähigt sein, zukünftig eine marktreife industrielle EUV-Strukturierungsanlage zu fertigen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen (Transferprojekt)
• Anwendungspartner: RI Research Instruments GmbH
• Ehemalige Antragsteller: Dr. Serhiy Danylyuk, bis 2/2020; Professor Dr. Peter Loosen, von 2/2020 bis 7/2021