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Institution
RI Research Instruments GmbH
Adresse
Friedrich-Ebert-Straße 1
51429 Bergisch Gladbach
Deutschland
51429 Bergisch Gladbach
Projekte
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Skalierungsgrenzen einer kompakten EUV-Nanostrukturierungsanlage hinsichtlich Auflösung und Durchsatz - Erkenntnistransfer-Projekt
(Antragsteller
Holly, Carlo
)
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