Diamantscheiben für die Mikro-elektromechanische Wandler, CDISK

• Antragsteller: Professor Dr. Oliver Ambacher
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme ; Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik ; Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien ; Mechanische Eigenschaften von metallischen Werkstoffen und ihre mikrostrukturellen Ursachen
• Förderung: Förderung von 2017 bis 2020
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 317885617

Wir schlagen vor, einen neuartigen Ansatz zu hohen Q-Faktoren für die elektro-akustische Oszillatoren zu erreichen. Solche Systeme erfordern niedrige Impedanz und hohe Durchstimmbarkeit, die mit neuen Front-End-Systemen kompatibel sind. Im Rahmen dieses Projekts entwickeln wir neue Arten von abstimmbaren, piezo-kapazitiven mikroelektromechanische Oszillatoren. Die vorgeschlagenen Wandler sind auf Al(Sc)N/Diamant Disk- und Ring-Resonatoren basiert, die in Whispering-Gallery- und radial Kontur- Schwingungsmoden operieren.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Mitverantwortlich: Vadim Lebedev, Ph.D.