Muskel-MEMS - Mikrosystemtechnische Fertigung von Flüssigkristallelastomeren

• Antragsteller: Professor Dr. Hans Zappe; Professor Dr. Rudolf Zentel
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme ; Festkörper- und Oberflächenchemie, Materialsynthese
• Förderung: Förderung von 2017 bis 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 316245751

Das Projekt verbindet Herstellungs- und Integrationstechnik der Flüssigkristallinen Elastomere (LCE) mit den technologischen Möglichkeiten der Mikrosystemtechnik und ermöglicht hierdurch den Einsatz völlig neuartiger Aktoren in der MEMS-Technologie. Durch die Entwicklung und den Einsatz von Wafer-Level-Prozessen können LCE-Aktoren in der Dimension von wenigen Mikrometern und hoher Reproduzierbarkeit hergestellt werden, welche so bisher unerreichbar große Stellwege und Flexibilität der Bewegungssteuerung zur Verfügung in Mikrosystemen realisieren. Dazu müssen dünne LCE-Filme direkt auf dem späteren Substrat synthetisiert, orientiert und strukturiert werden. Dies erfordert die Entwicklung neuer Prozessschritte, wie die Orientierung über Grenzflächen (Orientierungsschichten) und die Nutzung von Photostrukturierungsmethoden, die kompatibel mit den weichen, in organischen Lösungsmittel quellbaren LCE Materialien sind.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen