Dünnschicht- und Fertigungstechnologien für aktive mikrostrukturierte piezo¬elektrische Halbzeuge (A03)

• Fachliche Zuordnung: Metallurgische, thermische und thermomechanische Behandlung von Werkstoffen
• Förderung: Förderung von 2006 bis 2018
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 21440441

Ziel des Projektes ist die Erzeugung und Optimierung einer sowohl elektrisch als auch mechanischhochbelastbaren Isolatorschicht auf mikrostrukturierten Leichtmetallträgern (Blech). Als Herstellungsverfahrendieser Schichten wird die plasmagestützte chemische Dampfphasenabscheidung gewählt.Die funktionellen elektrischen und mechanischen Schichteigenschaften der Isolatorschicht sollen gemessenwerden und als Grundlage für die Optimierung des Abscheideprozesses sowie als wichtigeEingangsgrößen für die Modellierung und Dimensionierung des Sensor-/ Aktorsystems dienen.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 39: Großserienfähige Produktionstechnologien für leichtmetall- und faserverbundbasierte Komponenten mit integrierten Piezosensoren und -aktoren (PT-PIESA)
• Großgeräte: Mikro-Zug-Druck-Prüfmaschine
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Teilprojektleiter: Dr. Siegfried Peter; Dr.-Ing. Volker Wittstock