Optisches Laserlithographiesystem zur Nanostrukturierung

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 271377967

Die Anschaffung des Lithographiesystem steht im Zusammenhang mit der Neuberufung von Prof. Münzenberg im Januar 2014 an das Institut für Physik der Universität Greifswald und dient zur Erstausstattung der Professur. Das Nanolithographiesystem soll in folgenden Projekten eingesetzt werden: Nanostrukturierung von Tunnelelementen und Bondpads, Strukturierung von Hallbars für Topologische Isolatoren, Strukturierung magnonischer Kristalle (mehrkomponentig), flexible Nutzung für Lithographieprojekte in Kooperationen, z.B. Medizin und Pharmazie (Strukturierung für Mikrometersäulen als Zelluntergrund, Mikrofluidikkanäle) und Lithographieservice Institut für Physik und Institut für Niedertemperaturplasmaphysik. In der beantragten Version können relativ große Flächen in kurzer Zeit geschrieben werden. Die Auflösung liegt unter 150 nm.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Optisches Laserlithographiesystem zur Nanostrukturierung
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität Greifswald
• Leiter: Professor Dr. Markus Münzenberg