Schattenbedampfungsanlage mit Schleusenkammer

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 234724361

„Die Aufdampfanlage zur Schattenbedampfung von Metallen und insbesondere supraleitender Materialien ist für die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen mit Anwendung in der Quanteninformationstechnologie zwingend notwendig. Hohe Anforderungen an Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei der in-situ-Herstellung funktionaler Mehrschichtbauelemente erfordern hochpräzise Depositionssubstrathalter, um die durch die vorhandene hochaufgelöste Elektronenstrahllithografie gesetzten Grenzen mit Hilfe der Schattenbedampfung weiter auszureizen.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Schattenbedampfungsanlage mit Schleusenkammer
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Karlsruher Institut für Technologie
• Leiter: Professor Alexey V. Ustinov, Ph.D.
• beteiligte Wissenschaftler: Professor Dr. Gernot Goll; Professor Dr. Michael Siegel; Professor Dr. Georg Weiß