Mikrostrukturierungsanlage

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology
• Term: Funded in 2012
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 233930433

Die Laser-Bearbeitung von Werkstoffen gewinnt zunehmend an Bedeutung. Insbesondere durch die neuesten Entwicklungen auf dem Gebiet der Ultrakurzpulslaser ergeben sich durch nichtlineare Absorptionseffekte und durch die sogenannte „kalte Ablation“ ganz neue Ansätze zur hochpräzisen, schädigungsfreien Mikro- und Nanostrukturierung: 1. Mit der neuen fs- Laser Apparatur sollen neue Anwendungen im Bereich der Mikro-fluidik (Lab-on-Chip) erschlossen werden. Hier kann diese neue Technik helfen, Mikrokanäle in Polymeren oder Glas zu schreiben, Wellenleiter für die optische Sensorik zu integrieren und Oberflächen zu aktivieren, indem erstens die Hydrophilizität gezielt beeinflusst wird und zweitens durch das sogenannte Laser Induced Transfer (LIFT) Verfahren spezifische Rezeptormoleküle in Mikrokanalstrukturen immobilisiert werden können. 2. Die Femtosekunden-Ablation erlaubt weiterhin den gezielten Abtrag von ansonsten schwer strukturierbaren Sensorschichten wie z. B. piezoresistiven DLC (diamond like carbon) Schichten und somit deren Anwendung in elektromechanischen Sensoren (z.B. auch auf Polymerstrukturen). 3. Der Wegfall thermischer Nebeneffekte erlaubt in subtraktiver und additiver Weise Strukturen auf flexiblen polymeren Substraten zu erzeugen und so neue flexible oder dehnbare Mikrosysteme herzustellen.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Mikrostrukturierungsanlage
• Instrumentation Group: 4190 Spezielle Geräte der Mikrosystemtechnik
• Applicant Institution: Technische Universität Braunschweig
• Leader: Professor Dr. Andreas Dietzel