Dünnschicht-Röntgendiffraktometer mit 4-Kreis Goniometer und Reflektometrie-Option

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 220506095

Im Rahmen der materialwissenschaftlichen Forschungsprojekte ist eine detaillierte Kenntnis der kristallographischen Ordnung der untersuchten epitaktischen dünnen Schichten erforderlich. Dies beinhaltet eine Analyse von Fremdphasen und Fehlorientierungen ebenso wie eine quantitative Auswertung von Mosaikstruktur und Kohärenzlängen. Für diese Routine-Untersuchungen wird in der Regel ein 2-Kreis-Diffraktometer verwendet. Zur Analyse von Platzwechsel-Unordnung ist es jedoch notwendig, auch nicht-spekulare Röntgenreflexe auszuwerten, die nur mit einem 4-Kreis-Diffraktometer zugänglich sind. Auch die Analyse der Zwillingsaufspaltung in epitaktischen Schichten komplexer Kristallstruktur ist nur mit einem 4-Kreis Diffraktometer möglich. Weiterhin ist für die oben genannten Projekte eine exakte Bestimmung von Schichtdicken und Grenzflächenrauhigkeiten von Multilagen notwendig, wofür Röntgenreflektometrie die Methode der Wahl ist. Hierzu ist ein Reflektometer mit dynamischem Strahlabschwächer, einer paralleler Röntgenstrahl-Geometrie, sowie die exakte Justage der Filmoberfläche notwendig.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 4011 Pulverdiffraktometer
• Antragstellende Institution: Johannes Gutenberg-Universität Mainz
• Leiter: Professor Dr. Mathias Kläui