Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit Lithographie

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 214951525

„Alle aktuell in Mainz laufenden Forschungsprojekte basieren auf der Möglichkeit, hochqualitative Proben auf der Nanometerskala herzustellen. Unverzichtbar für die physikalischen Untersuchungen von allen zentralen Eigenschaften sind die Transportmessungen, wofür generell nanostrukturierte Proben nötig sind. Außerdem erlaubt oft erst die Nanostrukturierung, bestimmte Eigenschaften, wie z.B. quantisierten Transport, geometrisch-eingeschränkte Spinkonfigurationen u. ä. zu untersuchen. Zudem skalieren einige Effekte invers zur Strukturgröße, wie z.B. das Signal von magnetoresistiven Sensoren, oder charakteristische physikalische Längenskalen sind sehr klein, wie z.B. die Spindiffusionslänge, und erfordern entsprechend kleine Strukturen. Eine state-of-the-art Nanofabrikation, bestehend aus Elektronenstrahl- und lonenstrahllithographie und Argon lonenätzen, ist daher essentiell für den weiteren Erfolg der Projekte."

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Johannes Gutenberg-Universität Mainz
• Leiter: Professor Dr. Mathias Kläui