Zentralprojekt

• Antragstellerin: Professorin Dr.-Ing. Karla Hiller, seit 7/2016
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2011 bis 2020
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 195215523

Die Umsetzung dieser Zielstellung setzt eine interdisziplinäre Ausrichtung der Forschergruppe voraus. Insbesondere für die Integration von Nanotechnologien und die Entwicklung neuartiger Materialien ist die Beteiligung der Institute für Chemie und Physik der TU Chemnitz von großer Bedeutung. Gemeinsam mit der Fraunhofer ENAS und der Fakultät ET/IT werden so die Kompetenzen auf dem Gebiet der Herstellung und Charakterisierung von Nanostrukturen, des Entwurfs, der Herstellung und Zuverlässigkeitsbewertung von Mikrosystemen sowie Integrations- und Packagingtechnologien gebündelt, um die vielschichtigen wissenschaftlichen Problemstellungen bei der Entwicklung von Multifunktionalen Mikro- und Nanosystemen abdecken zu können.In der ersten Förderperiode der Forschergruppe stehen zunächst die Integration von Nanostrukturen und neuer Materialien sowie die räumliche und funktionelle Integration heterogener Komponenten für Sensoranwendungen im Blickpunkt. Die Umsetzung dieser Forschungsziele wird in drei unabhängigen thematischen Schwerpunkten verfolgt:• Schwerpunkt 1: NEMS – Nanosensoren auf Siliziumbasis,• Schwerpunkt 2: Modellierung und Integration von Nanoröhren,• Schwerpunkt 3: Neue Materialien und Technologien für Sensoranwendungen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgruppen
• Teilprojekt zu: FOR 1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme
• Beteiligte Person: Professor Dr. Dietrich R. T. Zahn
• Ehemaliger Antragsteller: Professor Dr. Thomas Geßner, bis 7/2016 (†)