Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung in 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 198012839

„Das Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -Systeme (IMSAS) arbeitet auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie. Im Reinraum der Universität werden Mikrosysteme und Sensoren hergestellt und untersucht. Das wichtigste Verfahren zur Kontrolle der einzelnen Technologieschritte und zur Analyse der Gesamtsysteme ist die Elektronenmikroskopie. Lithographie und Ätztechnik dringen zu immer kleineren Strukturen vor, so dass die Anforderungen an die Auflösung des Elektronenmikroskops steigen. Weiterhin befassen sich neuere Forschungsprojekte mit isolierenden Materialien und organischen Oberflächen, bei denen niedrige Beschleunigungsspannungen zum Einsatz kommen müssen, um störende elektrische Aufladung zu vermeiden. Diesen gestiegenen Anforderungen ist das vorhandene REM aus dem Jahr 1992 nicht mehr gewachsen und soll durch ein modernes Gerät ersetzt werden. Mit dem geplanten Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FEG-REM) können Nanostrukturen aufgelöst werden. Dieses Gerät kann auch bei geringen Elektronenstrahlenergien einen ausreichend intensiven Elektronenstrahl bereitstellen, um hochauflösende Aufnahmen zu erzielen und es kann auch nichtleitende Proben ohne leitende Beschichtung untersuchen.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Universität Bremen
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Walter Lang