Zweikammer-Plasmaätzanlage

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 179010251

„Die beantragte Zweikammer-Plasmaätzanlage bildet einen unverzichtbaren Bestandteil zur Schließung der Prozesskette im Zentralen Reinraumlabor der TU Bergakademie Freiberg. Sie vervollständigt die technologischen Prozessschritte durch die Möglichkeit einer Strukturierung und auch gezielten Modifizierung. Nachdem für die Schichtabscheidung und Kontaktierung Lösungen existieren bzw. in nächster Zeit bereitstehen, wobei bereits eine Auslegung von Strukturen durch Lithographieprozesse möglich ist, kann erst durch die hier beantragte Anlage die erforderliche Annäherung an die angestrebten Funktionselemente, wie nichtflüchtige Speicher und Sensoren, in allen grundlegenden Belangen erfolgen. Die Anlage hat durch die Möglichkeiten der räumlichen Strukturierung und auch der gezielten Beeinflussung der Kristallstruktur der Materialien sowie der Aktivierung von Oberflächen durch den seit dem Jahr 2009 für zunächst 5 Jahre laufenden Spitzentechnologiecluster ADDE zusätzlich an Bedeutung gewonnen, da sie die Verfolgung der Intention des „Materialdesign durch Defektengineering“ von ADDE auf unterschiedlichen Skalen ermöglicht.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Technische Universität Bergakademie Freiberg
• Leiter: Professor Dr. Dirk Carl Meyer