NEMS/MEMS-Herstellung von Sensoren und Sensorarrays (C02)

• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2010 to 2014
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 101024871

Ziel dieses Teilprojekts ist die integrierte Herstellung von ME Sensoren und Sensorarrays mit Methoden der Mikro- bzw. Nanosystemtechnik. Die Schwerpunkte dieses Projekts in der ersten Antragsphase betreffen die Integration von ME Materialien auf bewegliche mikromechanische Strukturen einschließlich der Aufbau- und Verbindungstechnik, die Untersuchung der Effektverstärkung durch mechanische Resonanzen und die Entwicklung von ME Vektorfeldsensoren. Diese Arbeiten sollen am neuen Kieler Nanolabor, für bestimmte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe durchgeführt werden.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 855: Magnetoelectric Composites - Future Biomagnetic Interfaces
• Applicant Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Co-Applicant Institution: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
• Project Heads: Professor Dr.-Ing. Eckhard Quandt; Professor Dr. Bernhard Wagner