Magnetoelektrische 1-3 Komposite
(A03)
Fachliche Zuordnung
Materialwissenschaft
Förderung
Förderung von 2010 bis 2013
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 101024871
Es werden 1-3 und (freistehende) 1-1 Multikompositstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die nicht durch das Substrat geklemmt sind. Untersucht werden 1-3 Strukturen mit PZT oder AlN als piezoelektrischem Material, das mit Hilfe der Damascene-Technologie strukturiert wird. Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verschiedene Verfahren zum Einsatz. Darüber hinaus wird die direkte Verwendung von isolierenden makroporösem InP als piezoelektrischen Komponente untersucht.
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche