Magnetoelektrische 1-3 Komposite (A03)

Es werden 1-3 und (freistehende) 1-1 Multikompositstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die nicht durch das Substrat geklemmt sind. Untersucht werden 1-3 Strukturen mit PZT oder AlN als piezoelektrischem Material, das mit Hilfe der Damascene-Technologie strukturiert wird. Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verschiedene Verfahren zum Einsatz. Darüber hinaus wird die direkte Verwendung von isolierenden makroporösem InP als piezoelektrischen Komponente untersucht.

DFG-Verfahren Sonderforschungsbereiche

Teilprojekt zu SFB 855:  Magnetoelektrische Verbundwerkstoffe - biomagnetische Schnittstellen der Zukunft

Antragstellende Institution Christian-Albrechts-Universität zu Kiel

Mitantragstellende Institution Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)

Teilprojektleiter Professor Dr. Helmut Föll; Professor Dr. Bernhard Wagner