Nanometerpräzise Strukturierung von Festkörpern und dünnen Schichten durch laserinduziertes Vorderseitenätzen

• Antragsteller: Dr.-Ing. Klaus Zimmer
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 136302519

Ziel des Vorhabens ist die Untersuchung eines lasergestützten Ätzprozesses zur präzisen Mikrostrukturierung von Festkörpern und Schichten ohne Durchstrahlung des Substrates. Die wesentlichen Zielsetzungen der Grundlagenuntersuchungen umfassen die Ermittlung von Parametereinflüssen auf den Ätzprozess und der erzielbaren Eigenschaften geätzter Festkörper und Schichten, die Bestimmung der abtragsbestimmenden Prozesse des Ätzens, die Messung der Ätzdynamik sowie die Erstellung eines Modells zur Beschreibung des Ätzens. In der anschließenden Phase der Methodenoptimierung werden Fragen des kontinuierlichen Ätzens anwendungsrelevanter Materialien und Schichtsysteme zur nanometertiefengenauen Strukturierung mit einer lateralen Auflösung im Mikrometerbereich adressiert, die für zukünftige Technikanwendungen beispielweise in der Optik von Interesse sind.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen