Halbautomatischer Waferprober mit DC- und HF-Messsystem

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 135822875

Die Möglichkeit integrierte Strukturen, Bauelemente und Schaltungen charakterisieren zu können, ist Grundvoraussetzung für die Forschung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanobauelemente sowie der integrierten analog und mixed-signal Schaltungstechnik. Das an der Professur zur Verfügung stehende Halbleitertestsystem mit 200 mm Waferprober (Anschaffung 1992) ist an seine Leistungsgrenzen gestoßen. Es gestattet nur DC-Messungen mit eingeschränkter, insbesondere für die Neuausrichtung des Forschungsprofils der Professur nicht genügenden Messmöglichkeiten und gleichzeitig unzureichender Messgenauigkeit. Die Charakterisierung von Schaltungen und Systemen ist mit dem bisherigen System nur statisch möglich. Eine Auswertung beispielsweise des Frequenz- und Rauschverhaltens kann mit diesem Messsystem nicht erfolgen. Neben den technischen Einschränkungen besteht zusätzlich ein Engpass an Messkapazität. Die zukünftig geplanten Forschungsprojekte sehen den Einsatz eines Halbleitertestsystems für unterschiedliche Anforderungen vor. Aus diesem Grund ist die Neuanschaffung eines halbautomatischen 300 mm Probersystems mit Messtechnik für die Bauelemente- und Schaltungscharakterisierung im DC und HF-Bereich unbedingt erforderlich. Neben der Messung über Probes kann gleichzeitig auch eine Probe-Card eingesetzt werden. Diese Kombination erlaubt Präzisionsmessungen an einzelnen Strukturen und statistische Auswertungen an ganzen Wafern.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 2780 Spezielle Meß- und Prüfgeräte für Halbleiter und Röhren (außer 620-659)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Leiter: Professor Dr.-Ing. John Thomas Horstmann