Project Details
Professor Dr.-Ing. Bernhard Wunderle
Address
Technische Universität Chemnitz
Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
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As Leader
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Completed projects
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Zweistrahl Focused Ion Beam-Rasterelektronenmikroskop (Major Research Instrumentation)
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Focused ion beam scanning electron microscope (FIB-SEM) (Major Research Instrumentation)
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Completed projects