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Professor Dr.-Ing. Bernhard Wunderle

Adresse Technische Universität Chemnitz
Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Hochminiaturisierte Ermüdungstestplattform zur thermo-mechanischen Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung von heterogen- und bottom-up- integrierten nano-funktionalen Komponenten. (Forschungsgruppen)
Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
  - Zweistrahl Focused Ion Beam-Rasterelektronenmikroskop (Forschungsgroßgeräte)
  - Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM) (Forschungsgroßgeräte)

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