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Person

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Professorin Dr. Anjana Devi

Adresse Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (IFW) e.V.
Institut für Materialchemie
Helmholtzstraße 20
01069 Dresden

Projekte

Als Antragstellerin
- laufende Projekte
- abgeschlossene Projekte
Als Leiterin
- abgeschlossene Projekte
  - Dünnschicht-Phasenanalysator (Forschungsgroßgeräte)
Als Teilprojektleiterin
- abgeschlossene Projekte
  - Plasmadiagnostik zur Synthese von multilagen SiOx-Gradientenschichten mit gepulsten Mikrowellenplasmen und HF-Biasing kombiniert mit plasmaunterstützter Atomlagenabscheidung (PE-ALD) als Barriereschicht auf Kunststoffen (Transregios)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Metallorganische Kupfer-Precursoren für Cu-ALD (Atomic Layer Deposition) (Sachbeihilfen)

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