Project Details
Professor Dr. Michael Siegel
Address
Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Hertzstraße 16
76187 Karlsruhe
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As Participating Researcher
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Completed projects
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Schattenbedampfungsanlage mit Schleusenkammer (Major Research Instrumentation)
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GSC 21: Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) (Graduate Schools)
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Completed projects