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Project Details

Person

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Professor Dr. Frank Richter (†)

Projects

As Applicant
- Completed projects
  - Spannungsbeeinflussung in c-BN-Schichten durch Strukturmodifizierung des Interfacebereiches h-BN/c-BN mittels gezielter Beimengungen (Research Grants)
  - Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika (Research Grants)
As Participating Researcher
- Completed projects
  - GRK 829: Accumulation of Single Molecules to Nanostructures (Research Training Groups)
As Project Head
- Completed projects
  - Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten (Collaborative Research Centres)
As Participating Person
- Completed projects
  - Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika (Research Grants)
  - Untersuchung der zeitlichen Entwicklung der Entladung bei der gepulsten Magnetronzerstäubung (Research Grants)

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