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Project Details

Person

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Professor Dr.-Ing. Kurt Drescher

Address Technische Universität Dresden
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Nöthnitzer Straße 64
01187 Dresden

Projects

As Applicant
- Completed projects
  - Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion (Research Grants)
As Project Head
- Completed projects
  - Reaktive Silane und Thiole zur Herstellung von Self-Assembly-Schichten, deren Strukturierung und Applikation in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik (Collaborative Research Centres)
  - Adaption polymerer Schichten und Gele an Halbleiter- und Mikrostrukturen, Charakterisierung aktorischer und sensorischer Eigenschaften (Collaborative Research Centres)
  - Reaktions- und Diffusions-Phänomene in Cu-WTi-SiO2-Schichtsystemen (Collaborative Research Centres)

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