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Institution

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Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Institut für Mikro- und Sensorsysteme
Lehrstuhl für Halbleitertechnologie
(aufgelöst)

Adresse Postfach 4120
39016 Magdeburg
Deutschland

39016 Magdeburg

Projekte

Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Omar, Abbas )
  - Kapazitive und ohmsche mikroelektromechanische Schalter mit Brückenstrukturen aus Federstahl, insbesondere für Hochfrequenzanwendungen
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Omar, Abbas )

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