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Institution

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Technische Universität Ilmenau
Institut für Mikro- und Nanoelektronik
Fachgebiet für Mikro- und nanoelektronische Systeme

Adresse Postfach 100565
98684 Ilmenau
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

98684 Ilmenau

Projekte

Sonderforschungsbereiche
- laufende Projekte
  - MEMS-Technologie für adaptive Sensoren
    (Teilprojektleiter Ivanov, Ph.D., Tzvetan ; Ziegler, Martin )
- abgeschlossene Projekte
  - Dynamische Nanopositionierung für kleine Bewegungsbereiche
    (Teilprojektleiter Rangelow, Ivo W. )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
  - Nanoengineering-System
Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Neuartige Small Cantilever
    (Antragsteller Fröhlich, Thomas ; Rangelow, Ivo W. )
Graduiertenkollegs
- laufende Projekte
  - GRK 2182: Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen
    (Sprecher Manske, Eberhard ; Strehle, Steffen )

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