Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Adresse
Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
91058 Erlangen
Projekte
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Piezospektroskopie und ab initio-Rechnungen an Kohlenstoff-Sauerstoff-Komplexen in Galliumarsenid
(Antragsteller
Alt, Hans Christian
;
Kersch, Alfred
)
Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren
(Antragsteller
Eisele, Ignaz
)
Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
Schwerpunktprogramme
abgeschlossene Projekte
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Antragsteller
Herrmann, Wolfgang A.
)
Precursorchemie von HfN, TaN, WNx und ähnlichen Metallnitriden in MOCVD und ALD-Prozessen für Gate-Metallisierungs- und Diffusions-Grenzschichten für CMOS-Bauteile
(Antragsteller
Fischer, Roland A.
)
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
(Teilprojektleiter
März, Martin
;
Ryssel, Heiner
)
SFB 694: Integration elektronischer Komponenten in mobile Systeme
(Sprecher
Weckenmann, Albert
)
Exzellenzcluster
abgeschlossene Projekte
EXC 315: Neue Materialien und Prozesse - Hierarchische Strukturbildung für funktionale Bauteile
(Sprecher
Peukert, Wolfgang
)
Untergeordnete Institutionen
Abteilung Bauelemente
