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Institution
Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Adresse
09107 Chemnitz
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
09107 Chemnitz
Projekte
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Entwicklung von Röntgenoptiken aus Elementen der Siliziummikrotechnik
(Antragsteller
Frühauf, Joachim
;
Michel, Bernd
)
Herstellung von "Silicon-On-Insulator"-Schichten durch Ionenimplantation bei geringen Dosen in Kombination mit anschließenden Plasmabehandlungen
(Antragsteller
Horstmann, John Thomas
;
Job, Reinhart
)
Herstellung von "Silicon-On-Insulator"-Schichten durch Ionenimplantation bei geringen Dosen in Kombination mit anschließenden Plasmabehandlungen
(Antragsteller
Horstmann, John Thomas
)
Laserumformung von Silizium-Mikrostrukturen als Formgebungsverfahren in der Mikrotechnologie
(Antragsteller
Frühauf, Joachim
)
Schaltungselemente mit Nanometer-Geometrien in allen Raumrichtungen
(Antragsteller
Horstmann, John Thomas
)
Schwerpunktprogramme
abgeschlossene Projekte
Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen
(Antragsteller
Frühauf, Joachim
)
Forschungsgroßgeräte
abgeschlossene Projekte
Halbautomatischer Waferprober mit DC- und HF-Messsystem
Forschungsgruppen
abgeschlossene Projekte
MOS-Detektion für Nanoresonatoren
(Antragsteller
Horstmann, John Thomas
)
Großgeräteinitiative
abgeschlossene Projekte
Mess-Plattform für ultra-hohe Datenraten (MORE)
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