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Institution

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Technische Universität Chemnitz
Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme

Adresse Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

09126 Chemnitz

Projekte

Forschungsgruppen
- abgeschlossene Projekte
  - Hochminiaturisierte Ermüdungstestplattform zur thermo-mechanischen Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung von heterogen- und bottom-up- integrierten nano-funktionalen Komponenten.
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Hiller, Karla ; Wunderle, Bernhard )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
  - Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM)
  - Zweistrahl Focused Ion Beam-Rasterelektronenmikroskop

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