Technische Universität Ilmenau
Fakultät für Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Adresse
Gustav-Kirchhoff-Straße 1
98693 Ilmenau
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
98693 Ilmenau
Projekte
Sachbeihilfen
laufende Projekte
Dynamische und hochgenaue Sensor- und Toolpositionierung in großen Messvolumina mittels inversem Messkonzept - Erkenntnistransfer
(Antragsteller
Füßl, Roland
;
Manske, Eberhard
)
Genaue, präzise und SI-rückführbare Messungen der mechanischen Steifigkeit mikroelektromechanischer Systeme mit Kräften im Bereich von pN bis mN
(Antragstellerin
Cherkasova, Valeriya
)
Interferometrische, direkte faseroptische Formmessung mit sechs Freiheitsgraden
(Antragsteller
Kissinger, Thomas
)
Multiachs-Nanofabrikationsmaschine (MNFM)
(Antragsteller
Fröhlich, Thomas
)
Photonenimpuls ermöglicht reproduzierbare und SI-rückführbare Messungen von Kleinkraft, -masse und Laserleistung
(Antragsteller
Vasilyan, Suren
)
Präzisionsinterferometrie auf Basis hochstabiler Laserquellen bei 633 nm
(Antragstellerin
Blumröder, Ulrike
)
Rückführbarer taktiler, aktiver, kraft- und momentmessender Koordinatenmesssystem-Messkopf
(Antragsteller
Fröhlich, Thomas
;
Hausotte, Tino
)
Scannende Interferenzlithographie auf räumlichen Strukturen
(Antragsteller
Haist, Tobias
;
Manske, Eberhard
;
Sawodny, Oliver
)
Synthese nachgiebiger Mechanismen in der Kraftmess- und Wägetechnik für Präzisionsanwendungen
(Antragstellerinnen / Antragsteller
Fröhlich, Thomas
;
Zentner, Lena
)
abgeschlossene Projekte
3D-Charakterisierung von Mikrokugeln mit Nanometerpräzision
(Antragsteller
Manske, Eberhard
)
DINTOR - Grundlagen der Darstellung und Messung dynamischer Drehmomente (Dynamische Eigenschaften von mechanischen Bauteilen für Fundamentalnormale für dynamische Drehmomente)
(Antragsteller
Fröhlich, Thomas
)
Dynamische Klimakompensation bei Präzisionsmeßsystemen für mechanische Größen
(Antragsteller
Jäger, Gerd
)
Dynamische und hochgenaue Sensorpositionierung in großen Messvolumina mittels inversem Messkonzept
(Antragsteller
Füßl, Roland
;
Manske, Eberhard
)
Einfluss von Verunreinigungen auf die Phasengleichgwichtstemperaturen von Reinstmetallen und binären Metall-Legierungen (Temperatur-Fixpunkte)
(Antragsteller
Blumröder, Götz
;
Rudtsch, Steffen
;
Sarge, Stefan M.
)
Entwicklung eines Mess- und Antriebssystems für eine 3D-Präzisions-Messmaschine
(Antragsteller
Jäger, Gerd
)
Entwicklung ganzheitlicher Konzepte zur hochauflösenden Messung von Mikrostrukturen auf der Basis scannender und abbildender optischer Verfahren
(Antragsteller
Lehmann, Peter
;
Manske, Eberhard
)
Entwicklung und Aufbau eines Stehende-Wellen-Interferometers
(Antragsteller
Jäger, Gerd
)
Hochauflösende Kantenortsbestimmung von Mikrostrukturen basierend auf optischer 3D-Messung und Simulation
(Antragsteller
Lehmann, Peter
;
Manske, Eberhard
)
Neuartige mechanische Konzepte und Justagestrategien für Präzisionswägesysteme
(Antragsteller
Fröhlich, Thomas
;
Theska, René
)
Neuartige Small Cantilever
(Antragsteller
Fröhlich, Thomas
;
Rangelow, Ivo W.
)
Pico-AFM höchster Präzision für die Nanometrologie und Nanofabrikation
(Antragsteller
Manske, Eberhard
)
Präzisions-Generierung und Messung kleine statischer und dynamischer Kräfte mittels Strahlungsdruck eines Multipass-Laserstrahls
(Antragsteller
Vasilyan, Suren
)
Stabilisierte Zweiwellenlängen-Zweifrequenzlaser auf Nd:YAG Basis für die brechzahlkorrigierte interferometrische Längenmessung
(Antragsteller
Manske, Eberhard
)
Taktile Sensoren für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik
(Antragsteller
Büttgenbach, Stephanus
;
Jäger, Gerd
)
Vereinfachte Kalibriereinrichtung für Strahlungsthermometer mit unmittelbarer Rückführbarkeit auf die ITS-90
(Antragsteller
Bernhard, Frank
)
Wissenschaftliche Grundlagen zur Darstellung und Messung kleiner Drehmomente - Entwicklung einer Drehmoment-Normalmesseinrichtung für kleine Drehmomente mit reduzierter Messunsicherheit - DEBRATOR 2
(Antragsteller
Theska, René
)
Schwerpunktprogramme
laufende Projekte
Faseroptischer Kontaktfühler zur Bestimmung der Relativbewegung zwischen Drohne und Messobjekt zur Bewegungskorrektur eines Nahbereich-3D-Inspektionslidars
(Antragsteller
Kissinger, Thomas
)
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
Integriertes Graduiertenkolleg
(Teilprojektleiter
Manske, Eberhard
;
Theska, René
)
Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine
(Teilprojektleiter
Jäger, Gerd
;
Manske, Eberhard
;
Theska, René
)
Metrologie der NPM-Maschinen
(Teilprojektleiter
Füßl, Roland
;
Manske, Eberhard
)
Metrologische Verifikation
(Teilprojektleiter
Füßl, Roland
;
Grünwald, Rainer
)
Nanomesstechnik
(Teilprojektleiter
Hausotte, Tino
;
Manske, Eberhard
)
SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
(Sprecher
Manske, Eberhard
)
Zentrale Aufgaben für den SFB
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Augustin, Silke
;
Manske, Eberhard
)
Forschungsgroßgeräte
abgeschlossene Projekte
Nanofabrikationsmaschine
Nanopositionier- und Nanomessmaschine
Temperaturkalibrierlabor
WBP Stipendium
laufende Projekte
Realisierung und Weitergabe dynamischer Kräfte und abgeleiteter Größen mit Hilfe des Prinzips einer Kibble-Waage
(Antragsteller
Rogge, Norbert
)
Graduiertenkollegs
laufende Projekte
GRK 2182: Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen
(Sprecher
Manske, Eberhard
;
Strehle, Steffen
)
abgeschlossene Projekte
GRK 1567: Elektromagnetische Strömungsmessung und Wirbelstromprüfung mittels Lorentzkraft
(Sprecher
Schumacher, Jörg
)
