Design- und Simulationsserver

Der Entwurf von Bauelementen und Systemen in der Mikrosystemtechnik umfasst die Integration unterschiedlicher physikalischer Domänen auf engstem Raum. Für die jeweiligen Bereiche der Mikrosystemtechnik (Elektronik, Mechanik, Optik, Fluidik usw.) existieren leistungsfähige Modellierungs- und Simulationsverfahren, die einen rechnerunterstützten Entwurfsprozess ermöglichen. Durch die zunehmende Komplexität der herzustellenden Bauelemente und Mikrosystemen werden leistungsfähige Server benötigt. Für die Optimierung und reproduzierbare Herstellung der Bauelemente und Systeme werden nicht nur Modellierungs-, Simulations- und CAD-Verfahren eingesetzt, sondern es müssen auch Prozess- und Technologiedaten sowie Daten aus den Ergebnissen der messtechnischen Charakterisierung verfügbar sein und in Optimierung des Herstellprozesses einfließen.

DFG-Verfahren Forschungsgroßgeräte

Gerätegruppe 7470 CAD-, CAM-Systeme (computer-aided-design, -manufacturing)

Antragstellende Institution Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Leiter Professor Dr.-Ing. Sören Hirsch, seit 1/2012; Professor Dr. Bertram Schmidt, bis 9/2012