Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop

• Subject Area: Materials Science
• Term: Funded in 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 60085727

„Das Fachgebiet „Nanostrukturtechnik" beschäftigt sich mit der Herstellung von Nanopartikeln in der Gasphase, sowie mit der Herstellung von nanopartikulären und hybridischen Dünnschichtbauelementen. Eine unmittelbare Kontrolle über die Morphologie und chemische Zusammensetzung der Partikel und der Schichten ist für eine korrekte Prozesskontrolle unabdingbar. Die Analyse der Partikelmorphologie, bei Partikelgrößen bis hin zu 3 nm erfordert eine Höchstauflösung, auch bei niedrigen Beschleunigungsspannungen, die nur durch einen kalten Feldemitter realisiert werden kann. Ein vergleichbares Gerät befindet sich zurzeit nicht an der Hochschule. Die geforderte Auflösung kann von den vorhandenen Geräten nur durch ein hochauflösendes Transmissionselektronenmikroskop (TEM) (Physik) erreicht werden. Die Untersuchung von aus diesen Partikeln durch Deposition hergestellten Schichten und Bauelementen erfordert allerdings die Charakterisierung durch ein Rasterelektronenmikroskop. Es gibt keine Möglichkeit, entsprechende Bauelemente in einem TEM zu untersuchen. Für die übliche Herstellung von Querschnitten (Cross-Sections) für die TEM-Charakterisierung eignen sich nanopartikuläre Schichten prinzipiell nicht. Ein an dem beantragten Gerät angebrachter STEM-Detektor ist für die Partikelcharakterisierung zur Prozesskontrolle unumgänglich. Das sich im Fachgebiet „Werkstoffe der Elektrotechnik" befindende Elektronenstrahlmikroskop wird als Lithographie-Schreibgerät eingesetzt und ist daher zeitlich sehr hoch ausgelastet. Darüber hinaus befindet es sich in einem Reinraum, der nur einem begrenzten Personenkreis zugängig ist. Daher besteht auch vom Fachgebiet „Werkstoffe der Elektrotechnik" Bedarf an einem höchstauflösenden Analysegerät. Darüber hinaus wurde auch aus dem Fachbereich Physik Bedarf an einem entsprechenden Gerät angemeldet.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Universität Duisburg-Essen
• Leader: Professor Dr. Roland Schmechel