Optoelektronische Ansteuerung für hochintegrierte MEMS auf Polymerbasis

Applicant Professor Dr.-Ing. Andreas Richter
Subject Area Microsystems
Term from 2008 to 2012
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 59225249
 

Project Description

Vorhabensziel ist die Entwicklung der konstruktiv-technologischen Grundlagen einer opto- bzw. thermoelektronischen Ansteuerung für hochintegrierte mikrotechnische Schaltungen auf Hydrogelbasis. Die Arbeiten umfassen materialsynthetische und konstruktiv-technologische Aspekte sowie die physikalisch-empirische Modellierung des Ansteuerprinzips. Am Beispiel eines hochaufgelösten taktilen Displays werden die technischen Einflussgrößen des Ansteuerprinzips untersucht und dessen Leistungsgrenzen abgeschätzt. Die taktilen Darstellungsmöglichkeiten eines hydrogelbasierten Displays sind an einem Funktionsmuster zu untersuchen.
DFG Programme Research Grants