Ziel des Vorhabens ist die Erforschung, prototypische Realisierung und Analyse einer neuartigen hydraulischen Mikrostellvorrichtung. Kernstück des geregelten Systems ist eine bidirektionale Servopumpe mit piezoelektrischer Antriebs- und Ventiltechnik, deren Durchflusssteuerung durch zeitlich synchronisiertes Öffnen und Schließen mehrerer hochdynamischer Steuerventile erfolgt. Die Stellbewegung erfolgt direkt über einen von der Pumpe angetriebenen kurzen, großflächigen Differentialkolben. Zunächst soll das neue hydraulische Mikrostellsystem mit Simulationsrechnungen und experimentellen Untersuchungen der Teilsysteme methodisch gestützt konzipiert und erforscht werden. Anschließend erfolgt die Realisierung eines Versuchsmusters, das im folgenden detailliert experimentell analysiert wird....
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