Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Applicant
Professor Dr. Joachim Frühauf
Subject Area
Microsystems
Term
from 2004 to 2007
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5435992
Project Description
No abstract available
DFG Programme
Priority Programmes
Subproject of
SPP 1159: New Strategies for Measurement and Test Techniques for Production of Microsystems and Nanostructures