Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Fachliche Zuordnung
Mikrosysteme
Förderung
Förderung von 2004 bis 2007
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5435992
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Schwerpunktprogramme
