3D ion beam analysis for morphological and elementary characterisation of nano- and micro-dimensional building blocks and ion beam micro-machining

• Applicant: Professor Dr. Tilman Butz
• Subject Area: Experimental Condensed Matter Physics
• Term: from 2003 to 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5470540

Das Ziel des Projektes ist die Entwicklung einer vollständigen, quantitativen und hochempfindlichen Analytik zur 3D-Charakterisierung von nano- und mikrodimensionalen Bauelementen. Dafür wird RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry) unter Verwendung eines facettierten Teilchendetektors und eines euzentrischen Mikrogoniometers in Verbindung mit ergänzenden Methoden, wie STIM-T (Scanning Transmission Ion Micro-Tomography) mit Dichtekontrast und PIXE (Particle Induced X-Ray Emission) für elementspezifische Bilder und Stöchiometrie eingesetzt. Mittels maskenloser Strukturierung von Fotolackschichten auf Zuchtsubstraten und der gezielten Modifizierung der Oberflächeneigenschaften solcher Substrate durch Beschuss mit hoch- und mittelenergetischen Ionen wird das geordnete Wachstum von Arrays aus nanoskopischen Strukturelementen ermöglicht.

• DFG Programme: Research Units
• Subproject of: FOR 522: Architecture of Nano- and Microdimensional Building Blocks