Elektrokeramische mikroelektromechanische Schaltelemente (MEMS) für die Hochfrequenztechnik

Antragsteller Dr.-Ing. Ulrich Böttger
Fachliche Zuordnung Glas und Keramik und darauf basierende Verbundwerkstoffe
Förderung Förderung von 2003 bis 2005
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5412991
 

Projektbeschreibung

Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme
Teilprojekt zu SPP 1157:  Integrierte elektrokeramische Funktionsstrukturen