Synthese von nichtoxidkeramischen Schichten aus kondensierten Precursoren mittels DC- und HF-Plasma

Antragsteller Professor Dr.-Ing. Johannes Wilden
Fachliche Zuordnung Werkstofftechnik
Förderung Förderung von 1997 bis 2001
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5390893
 

Projektbeschreibung