Glasbauteile für NPM-Maschinen (B04)

• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2002 to 2005
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

No abstract available

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Heads: Dr.-Ing. Alf Harnisch; Professorin Dr.-Ing. Dagmar Hülsenberg