Nanopositioning Systems for Large Travel Ranges (A05)

Subject Area Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
Term from 2002 to 2013
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337
 

Project Description

Das Ziel im Teilprojekt A5 ist die Erarbeitung wissenschaftlicher Grundlagen für die Gestaltung hochgenauer Positioniersysteme auf Basis integrierter Mehrkoordinatenantriebe mit einer Messauflösung von bis zu 0,01 nm, einer Positionierreproduzierbarkeit von 1 nm und einem Verfahrbereich von bis zu 450 x 450 x 80 mm3. Neben theoretischen und experimentellen Untersuchungen zum Antriebssystem umfassen die Arbeiten insbesondere auch die Erforschung geeigneter magnetischer Führungen. Für alle betrachteten Teilsysteme sind die Grundlagen für den Einsatz im Vakuum und eine Minimierung der Verlustleistung zu erforschen.
DFG Programme Collaborative Research Centres
Subproject of SFB 622:  Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
Applicant Institution Technische Universität Ilmenau
Co-Applicant Institution IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH
Project Heads Professor Dr.-Ing. Thomas Sattel; Dr.-Ing. Christoph Schäffel (†)