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Sensorentwicklung und -integration (C 2)
Fachliche Zuordnung
Messsysteme
Förderung
Förderung von 1997 bis 2006
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5481537
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu
SFB 440:
Montage hybrider Mikrosysteme
Antragstellende Institution
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Teilprojektleiter
Dr.-Ing. Reinhard Freudenberg; Professor Dr.-Ing. Tilo Pfeifer, bis 11/2005; Professor Dr.-Ing. Robert Heinrich Schmitt