Experimentelle und numerische Analyse der Herstellung neuer Schichtmaterialien für Mikrostrukturen
(D 4)
Fachliche Zuordnung
Experimentelle Physik der kondensierten Materie
Förderung
Förderung von 1997 bis 2003
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5481479
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
