Rechnergestützter Entwurf von anisotrop geätzten Mikrostrukturen
(D 1)
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 1997 bis 2000
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5481479
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
