Versuchsmethodik für Herstellprozesse variantenreicher, feinstrukturierter Elektronikprodukte
(C 4)
Fachliche Zuordnung
Messsysteme
Förderung
Förderung von 1995 bis 2004
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5478566
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche