Röntgenprüfverfahren für 3D-Mikrostrukturen (C 2)

• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 1992 to 2004
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5478566

No abstract available

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 356: Production Systems in Electronics
• Applicant Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Co-Applicant Institution: Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) ; Abteilung Bauelemente
• Project Heads: Professor Dr. Randolf Hanke; Professor Dr.-Ing. Dieter Seitzer