Ziel des beantragten Forschungsvorhabens ist die Entwicklung von Toleranzsystemen für geometrische und funktionsorientierte Messgrößen zur optimalen Toleranzfestlegung bei mikro- und nanoskaligen Form- und Funktionselementen. Die Toleranzsysteme berücksichtigen dabei die folgenden drei wesentlichen Einflussfaktoren: Sicherung der Bauteilfunktion, Einfluss messtechnischer Unsicherheiten, Einfluss fertigungstechnischer Unsicherheiten. Anhand ausgewählter geometrischer und funktionsorientierter Messgrößen, der zugehörigen Messverfahren und Fertigungstechnologien wird der Einfluss dieser Faktoren auf die Toleranzfestlegung quantifiziert und anhand der gewonnenen Erkenntnisse allgemein gültige Systeme zur optimalen Toleranzfestlegung geometrischer und funktionsorientierter Messgrößen abgeleitet.
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