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Strukturierung, Kristallisation und Modifizierung physikalischer Eigenschaften von Siliziumkarbid duch Ionenbestrahlung und Nachfolgeprozesse (A 4)
Fachliche Zuordnung
Physik der kondensierten Materie
Förderung
Förderung von 1993 bis 1997
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5472481
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu
SFB 196:
Physik und Chemie optischer Schichten
Antragstellende Institution
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Teilprojektleiter
Professor Dr. Werner Wesch