Die Anwendbarkeit von Festkörperlaserstrahlung mit ultrakurzen Pulsen zur Mikrostrukturierung und Herstellung dreidimensionaler Mikrobauteile in Hartkeramiken wird im Hinblick auf die Reduzierung bzw. Vermeidung der Schädigung der Bauteile untersucht. Die Schädigung durch thermische Belastung während des Abtragsprozesses zeigt sich neben der Bildung von Rissen auch in Änderungen der chemischen Zusammensetzung und in Gefügeumwandlungen. Der Einfluß der Pulsdauer auf die Schädigung der Bauteile wird untersucht. Zu diesem Zweck werden Teststrukturen erzeugt und die Mikrobauteile auf Änderungen der mechanischtechnischen Eigenschaften (Härte) und deren Ursachen (Änderung der chemischen Zusammensetzung, Strukturumwandlungen) untersucht. Im Vorhaben wird die Reduzierung der Bauteilschädigung bei gleichzeitiger Minimalisierung von Strukturgrößen in Hartkeramiken in Abhängigkeit von den Verfahrensparametern des Abtragens untersucht.
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