Erzeugung keramischer Strukturen durch Laserpyrolyse von Polysilazan

Ziel dieses Projektes ist es, die selektive Laserpyrolyse von Polysilazan für die Herstellung funktionaler Strukturen und keramischer Komponenten in der Mikrosystemtechnik zu qualifizieren. Um über den bisherigen Kenntnisstand hinaus eine Optimierung der Prozeßführung und Festlegung der Verfahrensgrenzen zu erzielen, ist zunächst die Erarbeitung eines vertieften Prozeßverständnisses notwendig. Zu diesem Zweck sollen im ersten Projektjahr grundlegende Untersuchungen zur Laserpyrolyse durchgeführt und technologische Fragestellungen zur Machbarkeit des Verfahrens geklärt werden. Schließlich soll zur Dokumentation der Bearbeitungsergebnisse eine umfangreiche Charakterisierung der Strukturen erfolgen. Die Nutzbarmachung dieses Strukturierungsverfahrens für die Mikrosystemtechnik durch die gezielte Entwicklung einer Schichtfunktionalität sowie seine Eignungsprüfung zur Herstellung keramischer 3D-Mikrobauteile definieren den Forschungsschwerpunkt ab dem zweiten Projektjahr.

DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme

Teilprojekt zu SPP 1012:  Mikromechanische Produktionstechnik