Fertigung von 3D-Mikrokomponenten durch formangepaßten Abtrag mittels UV-Laserstrahlung

• Antragsteller: Dr.-Ing. Ferdinand von Alvensleben
• Fachliche Zuordnung: Produktionstechnik
• Förderung: Förderung von 1996 bis 2001
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5276486

Für die wirtschaftliche und effiziente Fertigung von Mikrobauteilen mittels UV-Lasern ist der Einsatz von neuen, an die Werkstückgeometrie angepaßten Abtragstrategien von großer Bedeutung. Im hier beantragten 4. Jahr erfolgt die Übertragung der entwickelten Strategien auf den realen Fertigungsprozeß. In diesem Rahmen werden die Strategien durch Simulations- und Fertigungsversuche untersucht und weiterentwickelt. Die Parameter, welche zur Fertigung von qualitativ hochwertigen Bauteilen führen, sind in einer Datenbank festzuhalten. Die im Verlauf dieses Vorhabens erarbeiteten Kenntnisse werden zu einem Gesamtkonzept zusammengeführt und erlauben die automatisierte NC-Datengenerierung. Das gesamte Verfahren zur flexiblen Mikrostrukturierung wird abschließend durch die Fertigung und Bewertung von 3D-Mikrokomponenten qualifiziert.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1012: Mikromechanische Produktionstechnik